특허취득- 유기 반사방지막 형성용 유기 중합체 및 이를 포함하는 유기조성물

작성일2008.06.23

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1. 특허명칭 :  유기 반사방지막 형성용 유기 중합체 및 이를 포함하는 유기조성물

2. 특허 주요내용 : 본 발명은 포토리소그래피 공정에서 노광원을 흡수하기 위하여 피식각층과 포토레지스트막사이에 위치하는 유기 반사방지막을 형성하기 위한 유기 중합체 및 이를 포함하는유기조성물에 관한 것으로, 유기 반사방지막 형성용 유기 중합체는 유기 반사방지막의 식각률을 개선하고, 유기 반사방지막의 형성을 용이하게 하며 기판과의 접착력을 개선하는 역할을 한다.

3. 특허권자 :  (주)동진쎄미켐

4. 특허취득일자 : 2008년 05월 06일

5. 특허 활용계획 : 유기반사방지막 판매확대

6. 확인일자 :  2008년 06월 17일

7. 기타 투자판단에 참고할 사항 : 해외(미국)특허임

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